派克PARKER減壓調(diào)壓閥

派克PARKER減壓調(diào)壓閥描述：

735W 系列，二級(jí)減壓調(diào)壓閥，為高壓超高純度（UHP）應(yīng)用而設(shè)計(jì)。該系列產(chǎn)品擁有優(yōu)異的穩(wěn)定性并降低供給壓力作用的影響 - 不管入口壓力如何波動(dòng)，出口壓力保持穩(wěn)定。

• 派克Veriflo部門的735W和NPR735W（亞大氣壓）系列閥門，是為高壓氣體分配系統(tǒng)而設(shè)計(jì)，特別是用于超高純度（UHP）半導(dǎo)體制造操作系統(tǒng)。 該系列產(chǎn)品適用于惰性和腐蝕性氣體，具有二級(jí)隔膜設(shè)計(jì)，可大限度地減少供給壓力的影響; 因此，無(wú)論入口壓力如何波動(dòng)，都能提供穩(wěn)定的出口壓力。

  
  

  735W系列調(diào)壓閥具有*的壓縮構(gòu)件，其在潤(rùn)濕區(qū)域無(wú)螺紋，從而提高泄漏完整性，并減少顆粒的產(chǎn)生和截留的風(fēng)險(xiǎn)。此種調(diào)壓閥配有100級(jí)潔凈室，由Veriflo專有的Vericlean™ 316L不銹鋼制成，并帶有PCTFE（聚三氟氯乙烯）或者 Vespel®（聚酰亞胺）閥座。這些材料，標(biāo)準(zhǔn)的全內(nèi)部電拋光和哈氏合金C-22® 隔膜和提升閥相結(jié)合在一起，使調(diào)壓閥入口壓力高達(dá)3,500 psig時(shí)都能保有其的耐腐蝕性和清潔度。閥座還具有自定位設(shè)計(jì)，可做重復(fù)有效關(guān)閉，穩(wěn)定的密封性，以及精確的壓力調(diào)節(jié)。它通過(guò)集成的過(guò)濾網(wǎng)保護(hù)其不受上游氣缸帶來(lái)的污染。

  
  

  735W系列調(diào)壓閥，當(dāng)閥座出現(xiàn)泄漏時(shí)，閥門關(guān)閉以阻隔帶有腐蝕性或有害氣體泄漏，并且通過(guò)消除下游潛在的聚積高壓而提高安全性。調(diào)壓閥內(nèi)部（閥座）密封件和密封外的金屬部件均通過(guò)質(zhì)譜儀進(jìn)行內(nèi)外部氦氣泄露檢測(cè)，以確保在苛刻的要求清潔度的UHP應(yīng)用中，保有其性能和可靠性。

  
  
  派克PARKER減壓調(diào)壓閥市場(chǎng)：
  

  
  

  • 半導(dǎo)體

  • 分析實(shí)驗(yàn)室

  • 制藥

  • 生物制藥

  • 航空航天

  • 工業(yè)

  
  

  
  

• 美國(guó)派克PARKER減壓調(diào)壓閥特點(diǎn)和優(yōu)勢(shì)：

  • *的壓縮構(gòu)件無(wú)需螺紋穿孔將密封與本體連接在一起

  • 高循環(huán)使用壽命（包括耐腐蝕xing服務(wù)）

  • 內(nèi)部彈簧設(shè)計(jì)小化顆粒的產(chǎn)生和氣體截留

  • 金屬對(duì)金屬隔膜到閥體的密封確保高泄漏完整性

  • 內(nèi)部泄漏率:<2 x 10-9 scc/sec He （額定）

  • 外部泄漏率:<2 x 10-10 scc/sec He

  • 全壓力范圍使用:從真空到3,500 psig （NPR735W可用于亞大氣壓的壓力控制）

  • Cv 0.04

  • 標(biāo)準(zhǔn)的全內(nèi)部電拋光

  
  
  派克PARKER減壓調(diào)壓閥?應(yīng)用：

  • 腐蝕性氣體和特種氣體

  • 半導(dǎo)體工具

  • 工具連接

  • 燃?xì)夤?/span>

  • 閥組箱（VMB）

  • 上游工藝管線

  
  

美國(guó)派克PARKER減壓調(diào)壓閥性能特點(diǎn)

閥體材料

316L 不銹鋼

受壓構(gòu)件材料

316L不銹鋼（標(biāo)準(zhǔn)），哈氏合金 C-22

隔膜材料

316L不銹鋼（標(biāo)準(zhǔn)），哈氏合金 C-22

底座材料

PCTFE聚三氟氯乙烯(標(biāo)準(zhǔn))，聚酰亞胺(Vespel)

提升閥的材料

316L不銹鋼（標(biāo)準(zhǔn)），哈氏合金 C-22

提升閥彈簧材料

316L不銹鋼（標(biāo)準(zhǔn)），Inconel合金

提升閥網(wǎng)材料

哈氏合金 C-22®

蓋帽材料

黃銅鍍鎳

螺母材料

316L 不銹鋼

凸起材料

ABS樹脂

爆破壓力

10,500 psig (724 barg)

證明壓力

5,250 psig (362 barg)

流體容量(CV)

Cv 0.04

內(nèi)部泄漏率

< 2 x 10-9 scc/sec He

外部泄漏率

< 2 x 10-10 scc/sec He

內(nèi)部容積（毫升）

10.10cc（不含連接端口）

重量（磅）

3.5

重量（公斤）

1.6

大入口壓力（PSIG)

3,500

大入口壓力（BARG)

240 barg

出口壓力

1-30 psig (2 barg)

3-100 psig (7 barg) (735W)

-25 in Hg至30 psig (NPR735W)

zui高工作油溫（C)

65°C

zui高工作油溫（F)

150°F

低工作油溫（C)

-40°C

小工作溫度（F)

-40°F